2019년산 고품질 에칭 가스, 순도 99.999% CF4 테트라플루오로메탄(CF4 가스)

간략한 설명:


제품 상세 정보

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저희 회사는 성실하게 사업을 운영하고 모든 잠재 고객에게 최상의 서비스를 제공하며, 2019년에도 고품질 에칭 가스(순도 99.999% CF4 테트라플루오로메탄) 생산을 위해 새로운 기술과 장비를 꾸준히 도입하고 있습니다. 전 세계 고객 여러분께서 저희 제조 시설을 방문하시고 상호 이익이 되는 협력을 이루시기를 진심으로 환영합니다!
저희 회사는 성실하게 사업을 운영하고 모든 잠재 고객에게 서비스를 제공하며, 새로운 기술과 장비를 꾸준히 도입하는 것을 목표로 합니다.중국 CF4 가스 및 사불화탄소 가스고객 만족은 언제나 저희의 목표이며, 고객에게 가치를 창출하는 것은 저희의 의무입니다. 장기적인 상호 이익이 되는 비즈니스 관계를 구축하는 것이 저희의 목표입니다. 중국에서 귀사의 사업을 성공적으로 이끌어갈 수 있는 믿을 수 있는 파트너가 되겠습니다. 물론 컨설팅과 같은 다른 서비스도 제공해 드릴 수 있습니다.

기술적 매개변수

사양 99.999%
산소+아르곤 ≤1ppm
질소 ≤4ppm
수분(H2O) ≤3ppm
HF ≤0.1 ppm
CO ≤0.1 ppm
이산화탄소 ≤1 ppm
SF6 ≤1 ppm
할로카바인 ≤1 ppm
총 불순물 ≤10ppm

사불화탄소는 화학식 CF4를 갖는 할로겐화 탄화수소입니다. 할로겐화 탄화수소, 할로겐화 메탄, 과불화탄소 또는 무기 화합물로 분류될 수 있습니다. 사불화탄소는 무색 무취의 기체로, 물에는 녹지 않고 벤젠과 클로로포름에는 녹습니다. 상온 및 상압에서 안정하며, 강산화제, 가연성 물질 또는 인화성 물질과의 접촉을 피해야 합니다. 불연성 기체이지만, 고온에 노출될 경우 용기 내부 압력이 상승하여 균열 및 폭발의 위험이 있습니다. 화학적으로 안정하고 불연성이므로 상온에서 사용하려면 액체 암모니아-금속나트륨 시약이 필요합니다. 사불화탄소는 온실 효과를 일으키는 기체로, 매우 안정하여 대기 중에 오랫동안 존재할 수 있으며 강력한 온실 효과를 나타냅니다. 사불화탄소는 다양한 집적 회로의 플라즈마 에칭 공정에 사용됩니다. 테트라플루오로메탄(TFM)은 레이저 가스로 사용될 뿐만 아니라 저온 냉매, 용제, 윤활유, 절연재, 적외선 검출기 냉각제 등에도 사용됩니다. 특히 마이크로 전자 산업에서 가장 널리 사용되는 플라즈마 에칭 가스입니다. 고순도 테트라플루오로메탄과 고순도 산소의 혼합물로, 실리콘, 이산화규소, 질화규소, 인산규산염 유리 등에 폭넓게 사용됩니다. 텅스텐 등의 박막 재료 에칭에도 사용되며, 전자 기기 표면 세척, 태양 전지 생산, 레이저 기술, 저온 냉각, 누출 검사, 인쇄 회로 기판 생산 시 세척제 등으로도 널리 활용됩니다. 저온 냉매 및 집적 회로용 플라즈마 건식 에칭 기술에도 사용됩니다. 보관 시 주의사항: 서늘하고 통풍이 잘 되는 불연성 가스 창고에 보관하십시오. 화기 및 열원으로부터 멀리하십시오. 보관 온도는 30°C를 초과해서는 안 됩니다. 인화성 물질 및 산화제와 분리하여 보관해야 하며, 혼합 보관을 피해야 합니다. 보관 장소에는 누출 시 비상 처리 장비를 갖추어야 합니다.

애플리케이션:

① 냉매:

테트라플루오로메탄은 저온 냉매로 사용되는 경우가 있습니다.

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② 에칭:

이는 전자 미세 가공에서 단독으로 또는 산소와 함께 실리콘, 이산화규소 및 질화규소용 플라즈마 에칭제로 사용됩니다.

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일반 패키지:

제품 사불화탄소 CF4
패키지 크기 40리터 실린더 50리터 실린더  
실린더당 충전 순중량 30kg 38kg  
20피트 컨테이너에 적재된 수량 250기통 250기통
총 순중량 7.5톤 9.5톤
실린더 공차 중량 50kg 55kg
판막 CGA 580

이점:

①고순도, 최신 설비;

②ISO 인증 제조업체;

③ 빠른 배송;

④ 모든 단계에서 품질 관리를 위한 온라인 분석 시스템;

⑤충전 전 실린더 취급에 대한 높은 요구 사항과 꼼꼼한 절차;저희 회사는 성실하게 사업을 운영하고 모든 잠재 고객에게 최상의 서비스를 제공하며, 2019년에도 고품질 에칭 가스(순도 99.999% CF4 테트라플루오로메탄) 생산을 위해 새로운 기술과 장비를 꾸준히 도입하고 있습니다. 전 세계 고객 여러분께서 저희 제조 시설을 방문하시고 상호 이익이 되는 협력을 이루시기를 진심으로 환영합니다!
2019년 우수 품질중국 CF4 가스 및 사불화탄소 가스고객 만족은 언제나 저희의 목표이며, 고객에게 가치를 창출하는 것은 저희의 의무입니다. 장기적인 상호 이익이 되는 비즈니스 관계를 구축하는 것이 저희의 목표입니다. 중국에서 귀사의 사업을 성공적으로 이끌어갈 수 있는 믿을 수 있는 파트너가 되겠습니다. 물론 컨설팅과 같은 다른 서비스도 제공해 드릴 수 있습니다.


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