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요소 | 99.9999% | 단위 |
산소 (AR) | ≤0.1 | PPMV |
질소 | ≤0.1 | PPMV |
수소 | ≤20 | PPMV |
헬륨 | ≤10 | PPMV |
CO+CO2 | ≤0.1 | PPMV |
thc | ≤0.1 | PPMV |
클로로 실란 | ≤0.1 | PPMV |
디 실록산 | ≤0.1 | PPMV |
디실 라인 | ≤0.1 | PPMV |
수분 (H2O) | ≤0.1 | PPMV |
실란은 실리콘과 수소의 화합물입니다. 단 모노 실란 (SIH4), 디 실란 (SI2H6) 및 일부 상위 수준의 실리콘-수소 화합물을 포함한 일련의 화합물에 대한 일반적인 용어입니다. 그 중에서도 모노 실란은 가장 흔하며 때로는 실란이라고도합니다. 실란은 혐오스러운 마늘 냄새가 나는 무색 가스입니다. 에탄올, 에테르, 벤젠, 클로로포름, 실리콘 클로로포름 및 실리콘 테트라 클로라이드에 거의 불용성이있는 물에 가용성. 실란의 화학적 특성은 알칸보다 훨씬 더 활성이며 쉽게 산화됩니다. 자발적 연소는 공기와 접촉 할 때 발생할 수 있습니다. 그것은 25 ° C 미만의 질소와 반응하지 않으며 실온에서 탄화수소 화합물과 반응하지 않습니다. 실란의 화재와 폭발은 산소와의 반응의 결과입니다. 실란은 산소와 공기에 매우 민감합니다. 특정 농도를 갖는 실란은 또한 -180 ℃의 온도에서 산소와 폭발적으로 반응 할 것이다. 실란은 반도체 미세 전자 공정에 사용되는 가장 중요한 특수 가스가되었으며, 단결정 필름, 미세 결정질, 폴리 크라이스트탈 린, 실리콘 옥사이드, 실리콘 질화물 및 금속 실리케이드를 포함한 다양한 미세 전자 필름의 제조에 사용됩니다. 실란의 미세 전자 응용은 여전히 저온 에피 택시, 선택적 에피 택시 및 이종 에피 택시 에피 택시와 같은 심층적으로 발달하고있다. 실리콘 장치 및 실리콘 통합 회로뿐만 아니라 복합 반도체 장치 (갈륨 아르 세나이드, 실리콘 카바이드 등)의 경우도 있습니다. 또한 Superlattice Quantum Well 재료의 준비에 응용 프로그램이 있습니다. Silane은 현대에 거의 모든 고급 통합 회로 생산 라인에서 사용된다고 말할 수 있습니다. 실리콘 함유 필름 및 코팅으로서 Silane의 적용은 전통적인 미세 전자 산업에서 강철, 기계, 화학 및 광학과 같은 다양한 분야로 확장되었습니다. Silane의 또 다른 잠재적 인 응용은 고성능 세라믹 엔진 부품의 제조, 특히 Silane의 사용 (SI3N4, SIC 등) 마이크로 파이더 기술이 점점 더 많은 관심을 끌었다는 것입니다.
전자 :
실란은 반도체 및 실란트를 제조 할 때 실리콘 웨이퍼의 다결정 실리콘 층에 적용됩니다.
② 솔라스 :
Silane은 태양 광 발전 모듈 제조에 사용됩니다.
③ 산업 :
에너지 절약 녹색 유리에 사용되며 증기 증착 박막 공정에 적용됩니다.
제품 | 실란 SIH4 액체 | |
패키지 크기 | 47LTR 실린더 | Y-440L |
순 무게/실링 | 10kg | 125kg |
20'Container에 수량으로로드되었습니다 | 250 실 | 8 실 |
총 순 중량 | 2.5 톤 | 1 톤 |
실린더 용기 무게 | 52kg | 680kg |
판막 | CGA632/diss632 |
시장에서 10 년 이상;
ISO 인증서 제조업체;
패스트 배달;
stable 원자재 공급원;
모든 단계에서 품질 관리를위한 라인 분석 시스템;
채우기 전에 실린더를 처리하기위한 요구 사항과 세심한 프로세스;
율 : 고순도 전자 등급;
usage : 태양 전지 재료; 고순도 폴리 실리콘, 산화 실리콘 및 광섬유 생성; 유색 유리 제조.고객의 관심에 긍정적이고 진보적 인 태도를 보이는 우리 조직은 쇼핑객의 요구를 충족시키기 위해 제품 품질을 지속적으로 향상시키고 중국 도매 특별 가스 전자 및 산업 등급 99.9999%의 안전, 신뢰성, 환경 사양 및 혁신에 중점을 둡니다. Silane SIH4 공장 가격은 미래의 노력을 통해 더 영광스러운 미래를 만들 수 있기를 바랍니다.
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