핫 판매 중국 고순도 탄소 테트라 플루오 라이드 CF4 반도체 산업 에칭을위한 가스

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기술 매개 변수

탄소 테트라 플루오 라이드는 화학식 CF4를 갖는 할로겐화 탄화수소이다. 그것은 할로겐화 탄화수소, 할로겐화 된 메탄, 퍼플 루오로 카본 또는 무기 화합물로 간주 될 수있다. 탄소 테트라 플루오 라이드는 물에 불용성이며 벤젠과 클로로포름에 용해 된 무색의 무색 가스입니다. 정상적인 온도 및 압력 하에서 안정적, 강한 산화제, 가연성 또는 가연성 물질을 피하십시오. 비전동 가스, 용기의 내부 압력은 고열에 노출되면 증가하며 균열과 폭발의 위험이 있습니다. 화학적으로 안정적이며 불꽃이 발생하지 않습니다. 액체 암모니아-소체 금속 시약 만 실온에서 작동 할 수 있습니다. 탄소 테트라 플루오 라이드는 온실 효과를 유발하는 가스입니다. 매우 안정적이고 오랫동안 대기에 머무를 수 있으며 매우 강력한 온실 가스입니다. 탄소 테트라 플루오 라이드는 다양한 통합 회로의 혈장 에칭 공정에서 사용됩니다. 또한 레이저 가스로 사용되며 저온 냉매, 용매, 윤활제, 절연 재료 및 적외선 검출기를위한 냉각제에 사용됩니다. 마이크로 전자 산업에서 가장 많이 사용되는 플라즈마 에칭 가스입니다. 그것은 테트라 플루오로 메탄 고급 가스와 테트라 플루오로 메탄 고급 가스 및 고급 산소의 혼합물입니다. 실리콘, 이산화 실리콘, 질화물 및 포스 포 실리케이트 유리에서 널리 사용될 수 있습니다. 텅스텐 및 텅스텐과 같은 박막 재료의 에칭은 전자 장치의 표면 세척, 태양 전지 생산, 레이저 기술, 저온 냉장, 누출 검사 및 인쇄 회로 생산에서 세제에 널리 사용됩니다. 통합 회로를위한 저온 냉매 및 플라즈마 드라이 에칭 기술로 사용됩니다. 저장 예방 조치 : 시원하고 통풍이 잘되지 않은 비전동 가스 창고에 보관하십시오. 화재와 가열로부터 멀리하십시오. 저장 온도는 30 ° C를 초과해서는 안됩니다. 쉽게 (가연성) 가연성 및 산화제와 별도로 보관해야하며 혼합 저장을 피해야합니다. 저장 영역에는 누설 응급 치료 장비가 장착되어 있어야합니다.

애플리케이션:

① 냉매 :

테트라 플루오로 메탄은 때때로 저온 냉매로 사용됩니다.

② 에칭 :

그것은 전자 유전자 미세 가공 단독 또는 실리콘, 이산화 실, 실리콘 질화물의 혈장 에센트로서 산소와 함께 사용됩니다.

일반 패키지 :

이점:

고 순도, 최신 시설;

ISO 인증서 제조업체;

패스트 배달;

모든 단계에서 품질 관리를위한 라인 분석 시스템;

채우기 전에 실린더를 처리하기위한 요구 사항과 세심한 프로세스;우리는 정기적으로“혁신을 일으키고, 고품질의 생계, 관리 마케팅 혜택, 신용 점수를 높이고, 중국 고순도 탄소 테트라 플루오 라이드 CF4 가스를위한 고객을 유치하는 신용 ​​점수를 높이고, 신용 점수는 반도체 산업 에칭을위한 고객을 유치하고, 우리는 일상 생활의 모든 산책에서 뮤추얼 협력을 사냥하고 내일을 더 잘 환영합니다.
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