삼염화붕소(BCl3)붕소는 반도체 제조에서 건식 식각 및 화학 기상 증착(CVD) 공정에 흔히 사용되는 무기 화합물입니다. 상온에서 강한 자극적인 냄새가 나는 무색 기체이며, 습한 공기에 민감하여 가수분해되어 염산과 붕산을 생성합니다.

삼염화붕소의 응용 분야

반도체 산업에서,삼염화붕소주로 알루미늄의 건식 에칭에 사용되며, 실리콘 웨이퍼에 P형 영역을 형성하는 도핑제로도 사용됩니다. 또한 GaAs, Si, AlN과 같은 재료를 에칭하는 데 사용될 수 있으며, 특정 응용 분야에서는 붕소 공급원으로도 사용됩니다. 이 밖에도 삼염화붕소는 금속 가공, 유리 산업, 화학 분석 및 실험실 연구에 널리 사용됩니다.

삼염화붕소의 안전성

삼염화붕소부식성이 강하고 독성이 있어 눈과 피부에 심각한 손상을 일으킬 수 있습니다. 습한 공기 중에서 가수분해되어 독성 염화수소 가스를 발생시키므로 취급 시 적절한 안전 조치를 취해야 합니다.삼염화붕소여기에는 보호복, 고글 및 호흡 보호 장비를 착용하고 환기가 잘 되는 환경에서 작업하는 것이 포함됩니다.