삼염화붕소(BCl3)반도체 제조 공정에서 건식 에칭 및 화학 기상 증착(CVD) 공정에 일반적으로 사용되는 무기 화합물입니다. 실온에서 강한 자극적인 냄새가 나는 무색 기체이며, 가수분해되어 염산과 붕산을 생성하기 때문에 습한 공기에 민감합니다.

삼염화붕소의 응용

반도체 산업에서는삼염화붕소주로 알루미늄 건식 에칭과 실리콘 웨이퍼에 P형 영역을 형성하는 도펀트로 사용됩니다. 또한 GaAs, Si, AlN과 같은 재료를 에칭하는 데 사용할 수 있으며, 특정 응용 분야에서는 붕소 공급원으로도 사용할 수 있습니다. 또한, 삼염화붕소는 금속 가공, 유리 산업, 화학 분석 및 실험실 연구에 널리 사용됩니다.

삼염화붕소의 안전성

삼염화붕소부식성 및 독성이 있어 눈과 피부에 심각한 손상을 일으킬 수 있습니다. 습한 공기 중에서 가수분해되어 유독성 염화수소 가스를 방출합니다. 따라서 취급 시 적절한 안전 조치를 취해야 합니다.삼염화붕소보호복, 고글, 호흡 보호 장비를 착용하고 환기가 잘 되는 환경에서 작업하는 것을 포함합니다.