붕소 트리클로 라이드 (BCL3)반도체 제조에서 건식 에칭 및 화학 증기 증착 (CVD) 공정에 일반적으로 사용되는 무기 화합물입니다. 그것은 실온에서 강한 매운 악취를 가진 무색 가스이며 습한 공기에 민감합니다. 왜냐하면 염산과 붕산을 생산하기 위해 가수 분해하기 때문입니다.

붕소 트리클로라이드의 적용

반도체 산업에서붕소 트리클로 라이드주로 알루미늄의 건조 에칭 및 실리콘 웨이퍼 상에 p- 타입 영역을 형성하는 도판으로 사용됩니다. 또한 GAAS, SI, ALN과 같은 재료 및 특정 특정 응용 분야에서 붕소 소스로 에칭하는 데 사용될 수 있습니다. 또한, 붕소 트리클로라이드는 금속 가공, 유리 산업, 화학 분석 및 실험실 연구에 널리 사용됩니다.

붕소 트리클로라이드의 안전성

붕소 트리클로 라이드부식성이 있고 독성이 있으며 눈과 피부에 심각한 손상을 줄 수 있습니다. 그것은 습한 공기에서 가수 분해되어 독성 수소 가스를 방출합니다. 따라서 취급 할 때 적절한 안전 조치를 취해야합니다.붕소 트리클로 라이드보호 의류, 고글 및 호흡기 보호 장비 착용을 포함하여, 환경이 잘되는 환경에서 작동합니다.