삼염화붕소(BCl3)반도체 제조 공정에서 건식 에칭 및 화학 기상 증착(CVD) 공정에 일반적으로 사용되는 무기 화합물입니다. 실온에서 강한 자극적인 냄새가 나는 무색 기체이며, 가수분해되어 염산과 붕산을 생성하기 때문에 습한 공기에 민감합니다.

삼염화붕소의 응용

반도체 산업에서는삼염화붕소주로 알루미늄 건식 식각 및 실리콘 웨이퍼에 P형 영역을 형성하는 도펀트로 사용됩니다. 또한 GaAs, Si, AlN과 같은 재료를 식각하는 데 사용할 수 있으며, 특정 응용 분야에서는 붕소 공급원으로도 사용할 수 있습니다. 또한, 삼염화붕소는 금속 가공, 유리 산업, 화학 분석 및 실험실 연구에 널리 사용됩니다.

삼염화붕소의 안전성

삼염화붕소부식성 및 독성이 있어 눈과 피부에 심각한 손상을 일으킬 수 있습니다. 습한 공기 중에서 가수분해되어 유독성 염화수소 가스를 방출합니다. 따라서 취급 시 적절한 안전 조치를 취해야 합니다.삼염화붕소보호복, 고글, 호흡 보호 장비를 착용하고 통풍이 잘 되는 환경에서 작업하는 것을 포함합니다.