클로라이드 수소매운 냄새가 나는 무색 가스입니다. 수용액을 염산으로도 알려진 염산이라고합니다. 염화 수소는 물에 매우 용해됩니다. 0 ℃에서, 1 부피의 물은 약 500 부피의 염화 수소를 용해시킬 수있다.

다음 속성과 특성이 있습니다.

1. 고순도

전자 등급의 순도클로라이드 수소반도체 제조 공정에 불순물이 도입되지 않도록 일반적으로 PPM 이하의 수준에서 매우 높습니다.

2. 불활성

그것은 다른 많은 물질과 반응하지 않는 화학적으로 불활성 가스이며, 반도체 재료 및 장비의 오염을 방지하는 데 매우 중요합니다.

전자 등급클로라이드 수소일반적으로 신뢰할 수있는 반도체 처리를 보장하기 위해 안정적인 화학이 있습니다.

반도체 처리에서 전자 등급 수소의 주요 응용 분야는 다음과 같습니다.

효율적인 표면 클리너, 전자 등급클로라이드 수소에피 택셜 층 또는 필름의 품질과 순도를 보장하기 위해 기판 표면에서 산화물 및 불순물을 제거하는 데 사용됩니다.

에피 택셜 프로세스에서 표면 처리 제로 사용되며, 이는 에피 택셜 층의 품질을 향상시키고 격자 매칭을 개선하며 격자 결함의 형성을 줄이는 데 도움이됩니다.

반도체 장치를 준비하기 전에 전자 등급클로라이드 수소기질 표면을 처리하여 에피 택셜 층과 기판 사이의 접착력을 개선하기 위해 안정적인 염기를 형성하는 데 사용될 수있다.

화학 증기 증착 (CVD) 또는 물리 증기 증착 (PVD)의 과정에서, 전자 등급 클로로 라이드는 반도체 재료의 증착 반응에 참여하기 위해 기상 전이 배지로서 사용될 수있다.

가스상 전달 제로, 다른 기체 전구체가 반응 챔버에 도입되어 재료의 증착 속도 및 균일 성을 조정하는 데 도움이된다.

이러한 특성은 전자 등급을 만듭니다클로라이드 수소반도체 기술의 중요한 가공 제는 최종 장치의 성능과 신뢰성에 중요한 영향을 미칩니다.

반도체 가공에 사용하는 것 외에도 전자 등급 클로라이드는 고순도 재료의 제조, 연료 전지, 반도체 재료 성장, 증기 상 석판화, 재료 분석, 화학 연구를 포함하여 다른 영역에서 다양한 용도를 찾을 수 있습니다.

일반적으로 전자 등급클로라이드 수소반도체 제조 외부에서 광범위한 응용 프로그램을 갖는 다목적 고순도 가스입니다.

시간 후 : 12 월 17 일 -2024 년