전자특수 가스특수 가스의 중요한 한 분야인 가스는 반도체 생산의 거의 모든 단계에 사용되며, 초고밀도 집적 회로, 평면 디스플레이 장치, 태양 전지 등 전자 산업 제품 생산에 필수적인 원료입니다.

반도체 기술에서 불소 함유 가스는 널리 사용됩니다. 현재 전 세계 전자 가스 시장에서 불소 함유 전자 가스는 전체의 약 30%를 차지합니다. 불소 함유 전자 가스는 전자 정보 재료 분야의 특수 전자 가스에서 중요한 구성 요소입니다. 주로 세척제 및 에칭제로 사용되며, 도핑제, 박막 형성 재료 등으로도 사용될 수 있습니다. 이 글에서는 흔히 볼 수 있는 불소 함유 가스에 대해 알아보겠습니다.

다음은 일반적으로 사용되는 불소 함유 가스입니다.

삼불화질소(NF3): 세척 및 침전물 제거에 사용되는 기체로, 주로 반응 챔버 및 장비 표면 세척에 사용됩니다.

육불화황(SF6)산화물 증착 공정에 사용되는 불소화제이며, 절연 매체를 채우는 절연 가스로도 사용됩니다.

불화수소(HF): 실리콘 표면의 산화물을 제거하는 데 사용되며, 실리콘 및 기타 재료를 에칭하는 데 사용되는 에칭제입니다.

불화질소(NF): 질화규소(SiN) 및 질화알루미늄(AlN)과 같은 재료를 에칭하는 데 사용됩니다.

트리플루오로메탄(CHF3) 및테트라플루오로메탄(CF4)불화규소 및 불화알루미늄과 같은 불화물 재료를 에칭하는 데 사용됩니다.

하지만 불소를 함유한 가스는 독성, 부식성, 인화성 등 여러 가지 위험성을 내포하고 있습니다.

독성

불소를 함유한 일부 가스는 독성이 있는데, 그중 하나인 불화수소(HF)는 증기가 피부와 호흡기에 심한 자극을 주고 인체 건강에 해롭습니다.

부식성

불화수소와 일부 불소 화합물은 부식성이 매우 강하여 피부, 눈, 호흡기에 심각한 손상을 일으킬 수 있습니다.

가연성

일부 불소화물은 가연성이 있으며 공기 중의 산소나 물과 반응하여 강한 열과 유독 가스를 방출하여 화재나 폭발을 일으킬 수 있습니다.

고압 위험

일부 불소화 가스는 고압에서 폭발성이 있으므로 사용 및 보관 시 특별한 주의가 필요합니다.

환경에 미치는 영향

불소를 함유한 가스는 대기 잔류 시간이 길고 지구 온난화 지수(GWP) 값이 높아 대기 오존층을 파괴하고 지구 온난화 및 환경 오염을 유발할 수 있습니다.

전자 분야 등 신흥 분야에서 가스의 활용이 심화됨에 따라 산업용 가스에 대한 새로운 수요가 크게 증가하고 있습니다. 향후 몇 년 동안 중국 본토에서 반도체, 디스플레이 패널 등 주요 전자 부품의 신규 생산 설비가 대폭 확충될 예정이고, 전자 화학 소재의 수입 대체 수요 또한 강세를 보일 것으로 예상됨에 따라 국내 전자 가스 산업은 높은 성장률을 기록할 전망입니다.