전자특수가스특수 가스의 중요한 분야입니다. 반도체 생산의 거의 모든 고리에 침투하며 초대형 집적회로, 평판 디스플레이 장치, 태양전지 등 전자 산업 생산에 없어서는 안 될 원자재입니다.

반도체 기술에서는 불소 함유 가스가 널리 사용됩니다. 현재 전 세계 전자가스 시장에서는 불소 함유 전자가스가 전체의 약 30%를 차지하고 있다. 불소 함유 전자 가스는 전자 정보 소재 분야의 특수 전자 가스의 중요한 구성 요소입니다. 이들은 주로 세척제 및 에칭제로 사용되며 도펀트, 성막 재료 등으로도 사용할 수 있습니다. 이 기사에서 저자는 일반적인 불소 함유 가스를 이해하도록 안내합니다.

다음은 일반적으로 사용되는 불소 함유 가스입니다

삼불화질소(NF3): 침전물을 청소하고 제거하는 데 사용되는 가스로, 일반적으로 반응 챔버와 장비 표면을 청소하는 데 사용됩니다.

육불화황(SF6): 산화물 증착 공정 및 절연 매체 충전용 절연 가스로 사용되는 불소화제입니다.

불화수소(HF): 실리콘 표면에서 산화물을 제거하고 실리콘 및 기타 재료를 에칭하기 위한 에칭제로 사용됩니다.

불화질소(NF): 질화규소(SiN), 질화알루미늄(AlN) 등의 재료를 에칭하는 데 사용됩니다.

트리플루오로메탄(CHF3) 및테트라플루오로메탄(CF4): 불화규소, 불화알루미늄 등의 불화물 소재를 에칭하는데 사용됩니다.

그러나 불소 함유 가스에는 독성, 부식성, 가연성 등 특정 위험이 있습니다.

독성

일부 불소 함유 가스는 불화수소(HF)와 같은 독성이 있으며, 이 가스의 증기는 피부와 호흡기에 매우 자극적이며 인체 건강에 해롭습니다.

부식성

불화수소와 일부 불화물은 부식성이 강하고 피부, 눈, 호흡기에 심각한 손상을 일으킬 수 있습니다.

가연성

일부 불화물은 가연성이며 공기 중의 산소나 물과 반응하여 강한 열과 독성 가스를 방출하여 화재나 폭발을 일으킬 수 있습니다.

고압 위험

일부 불화 가스는 고압에서 폭발성이 있으므로 사용 및 보관 시 특별한 주의가 필요합니다.

환경에 미치는 영향

불소 함유 가스는 대기 수명과 GWP 값이 길어 대기 오존층에 파괴적인 영향을 미치고 지구 온난화와 환경 오염을 일으킬 수 있습니다.

전자공학과 같은 신흥 분야에서의 가스 적용이 계속 심화되면서 산업용 가스에 대한 많은 새로운 수요가 발생하고 있습니다. 향후 몇 년간 중국 본토에서 반도체, 디스플레이 패널 등 주요 전자 부품의 대량 신규 생산 능력과 전자 화학 재료의 수입 대체에 대한 강력한 수요를 바탕으로 국내 전자 가스 산업은 높은 성장률.