전자특수 가스특수 가스의 중요한 지점입니다. 그들은 반도체 생산의 거의 모든 링크에 침투하며 초대형 통합 회로, 평면 패널 디스플레이 장치 및 태양 전지와 같은 전자 산업 생산을위한 필수 원료입니다.

반도체 기술에서 불소 함유 가스가 널리 사용됩니다. 현재 전 세계 전자 가스 시장에서 불소 함유 전자 가스는 전체의 약 30%를 차지합니다. 불소 함유 전자 가스는 전자 정보 재료 분야에서 특수 전자 가스의 중요한 구성 요소입니다. 이들은 주로 세정제 및 에칭 제로 사용되며 도펀트, 필름 형성 재료 등으로도 사용될 수 있습니다.이 기사에서는 저자가 일반적인 불소 함유 가스를 이해하게 할 것입니다.

다음은 일반적으로 불소 함유 가스입니다

질소 Trifluoride (NF3) : 퇴적물을 청소하고 제거하는 데 사용되는 가스, 일반적으로 반응 챔버 및 장비 표면을 청소하는 데 사용됩니다.

황 6 헥사 플루오 라이드 (SF6): 산화물 증착 공정 및 절연 배지를 채우기위한 절연 가스로 사용되는 불소 제조 제.

불소 (HF) : 실리콘 표면에서 산화물을 제거하는 데 사용되며 실리콘 및 기타 물질을 에칭하는 에스크에 사용합니다.

질소 불화물 (NF) : 질화 실리콘 (SIN) 및 질화 알루미늄 (ALN)과 같은 물질을 에칭하는 데 사용됩니다.

트리 플루오로 메탄 (CHF3) 및테트라 플루오로 메탄 (CF4): 실리콘 불소 및 불화 알루미늄과 같은 불소 물질을 에칭하는 데 사용됩니다.

그러나 불소 함유 가스는 독성, 부식성 및 가연성을 포함한 특정 위험이 있습니다.

독성

일부 불소 함유 가스는 수소 불소 (HF)와 같은 독성이며, 증기는 피부와 호흡기에 매우 자극적이며 인간 건강에 유해합니다.

부식성

불소와 일부 불소는 부식성이 높으며 피부, 눈 및 호흡기에 심각한 손상을 일으킬 수 있습니다.

가연성

일부 불소는 가연성이며 공기 중의 산소 또는 물과 반응하여 강한 열 및 독성 가스를 방출하여 화재 또는 폭발을 일으킬 수 있습니다.

고압 위험

일부 불소화 가스는 고압 하에서 폭발적이며 사용 및 저장시 특별한주의가 필요합니다.

환경에 미치는 영향

불소 함유 가스는 대기 수명이 높고 GWP 값이 높으며, 이는 대기 오존층에 파괴적인 영향을 미치며 지구 온난화 및 환경 오염을 유발할 수 있습니다.

전자 제품과 같은 신흥 분야에서 가스를 적용하면 계속 심화되어 산업 가스에 대한 새로운 수요가 많이 발생합니다. 향후 몇 년간 중국 본토의 반도체 및 디스플레이 패널과 같은 주요 전자 구성 요소의 많은 새로운 생산 능력과 전자 화학 물질의 수입 수요에 대한 강력한 수요를 기반으로 국내 전자 가스 산업은 높은 성장률을 초래할 것입니다.