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| 연료 가스 | CH4, C2H2, CO, |
| 용접 가스 | Ar-He, Ar-H2, Ar-O2, Ar-CO2, CO2, O2, N2, H2, Ar-He-CO2, Ar-He-N2, |
| 액체 기체 | C2H4, SO2, CO2, NO2, N2O, C3F6, H2S, HCl, BCl3, BF3,SF6 |
| 교정 가스 | CH4-N2, NO-N2, H2S-N2, CO2-N2, SF6-N2, SiH4-He |
| 도핑 가스 | AsH3, PH3, GeH4, B2H6, AsCl3, AsF3, H2S, BF3, BCl3, |
| 결정 성장 | SiH4, SiHCl3, SiCl4, B2H6, BCl3, AsH3, PH3, GeH4, Ar, He, H2 |
| 기체상 에칭 | Cl2, HCl, HF, HBr, SF6 |
| 플라즈마 에칭 | SiF4, CF4, C3F8, CHF3, C2F6, NF3, SF6, BCl3, N2, Ar, He |
| 이온빔 에칭 | C3F8, CHF3, CClF3, CF4 |
| 이온 주입 | AsF3, PF3, PH3, BF3, BCl3, SiF4, SF6, N2, H2 |
| CVD 가스 | SiH4, SiH2Cl2, SiCl4, NH3, NO, O2 |
| 희석 가스 | N2, Ar, He, H2, CO2, N2O, O2 |
| 도핑 가스 | SiH4, SiCl4, Si2H6, HCl, PH3, AsH3, B2H6, N2, Ar, He, H2 |
