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| 사양 | 99.999% |
| 산소+아르곤 | ≤1ppm |
| 질소 | ≤4ppm |
| 수분(H2O) | ≤3ppm |
| HF | ≤0.1 ppm |
| CO | ≤0.1 ppm |
| 이산화탄소 | ≤1 ppm |
| SF6 | ≤1 ppm |
| 할로카바인 | ≤1 ppm |
| 총 불순물 | ≤10ppm |
사불화탄소는 화학식 CF4를 갖는 할로겐화 탄화수소입니다. 할로겐화 탄화수소, 할로겐화 메탄, 과불화탄소 또는 무기 화합물로 분류될 수 있습니다. 사불화탄소는 무색 무취의 기체로, 물에는 녹지 않고 벤젠과 클로로포름에는 녹습니다. 상온 및 상압에서 안정하며, 강산화제, 가연성 물질 또는 인화성 물질과의 접촉을 피해야 합니다. 불연성 기체이지만, 고온에 노출될 경우 용기 내부 압력이 상승하여 균열 및 폭발의 위험이 있습니다. 화학적으로 안정하고 불연성이므로 상온에서 사용하려면 액체 암모니아-금속나트륨 시약이 필요합니다. 사불화탄소는 온실 효과를 일으키는 기체로, 매우 안정하여 대기 중에 오랫동안 존재할 수 있으며 강력한 온실 효과를 나타냅니다. 사불화탄소는 다양한 집적 회로의 플라즈마 에칭 공정에 사용됩니다. 테트라플루오로메탄(TFM)은 레이저 가스로 사용될 뿐만 아니라 저온 냉매, 용제, 윤활유, 절연재, 적외선 검출기 냉각제 등에도 사용됩니다. 특히 마이크로 전자 산업에서 가장 널리 사용되는 플라즈마 에칭 가스입니다. 고순도 테트라플루오로메탄과 고순도 산소의 혼합물로, 실리콘, 이산화규소, 질화규소, 인산규산염 유리 등에 폭넓게 사용됩니다. 텅스텐 등의 박막 재료 에칭에도 사용되며, 전자 기기 표면 세척, 태양 전지 생산, 레이저 기술, 저온 냉각, 누출 검사, 인쇄 회로 기판 생산 시 세척제 등으로도 널리 활용됩니다. 저온 냉매 및 집적 회로용 플라즈마 건식 에칭 기술에도 사용됩니다. 보관 시 주의사항: 서늘하고 통풍이 잘 되는 불연성 가스 창고에 보관하십시오. 화기 및 열원으로부터 멀리하십시오. 보관 온도는 30°C를 초과해서는 안 됩니다. 인화성 물질 및 산화제와 분리하여 보관해야 하며, 혼합 보관을 피해야 합니다. 보관 장소에는 누출 시 비상 처리 장비를 갖추어야 합니다.
① 냉매:
테트라플루오로메탄은 저온 냉매로 사용되는 경우가 있습니다.
② 에칭:
이는 전자 미세 가공에서 단독으로 또는 산소와 함께 실리콘, 이산화규소 및 질화규소용 플라즈마 에칭제로 사용됩니다.
| 제품 | 사불화탄소 CF4 | ||
| 패키지 크기 | 40리터 실린더 | 50리터 실린더 | |
| 실린더당 충전 순중량 | 30kg | 38kg | |
| 20피트 컨테이너에 적재된 수량 | 250기통 | 250기통 | |
| 총 순중량 | 7.5톤 | 9.5톤 | |
| 실린더 공차 중량 | 50kg | 55kg | |
| 판막 | CGA 580 | ||
①고순도, 최신 설비;
②ISO 인증 제조업체;
③ 빠른 배송;
④ 모든 단계에서 품질 관리를 위한 온라인 분석 시스템;
⑤충전 전 실린더 취급에 대한 높은 요구 사항과 꼼꼼한 절차;저희는 소중한 고객 여러분께 도매 할인된 99.999% 순도의 사불화탄소에 대한 가장 열정적이고 세심한 서비스를 제공하기 위해 최선을 다하겠습니다. 국내외 바이어 여러분의 문의를 진심으로 환영하며, 24시간 근무팀을 운영하고 있습니다! 언제 어디서든 저희는 여러분의 든든한 파트너가 되어 드리겠습니다.
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