레이저 가스

레이저 가스는 주로 전자 산업의 레이저 어닐링 및 리소그래피 가스에 사용됩니다. 휴대폰 화면 혁신과 응용 분야 확대에 힘입어 저온 폴리실리콘 시장 규모는 더욱 확대될 것이며, 레이저 어닐링 공정을 통해 TFT의 성능이 크게 향상되었습니다. 반도체 제조용 ArF 엑시머 레이저에 사용되는 네온, 불소, 아르곤 가스 중 네온이 레이저 혼합가스의 96% 이상을 차지한다. 반도체 기술이 발전함에 따라 엑시머 레이저의 사용이 늘어나고, 이중 노광 기술의 도입으로 ArF 엑시머 레이저가 소비하는 네온가스 수요도 급증하게 되었다. 전자 특수가스의 국산화 추진으로 인해 국내 제조업체는 향후 더 나은 시장 성장 공간을 갖게 될 것입니다.

노광기는 반도체 제조의 핵심장비이다. 리소그래피는 트랜지스터의 크기를 정의합니다. 리소그래피 산업 체인의 조화로운 발전은 리소그래피 기계의 획기적인 발전의 열쇠입니다. 포토레지스트, 포토리소그래피 가스, 포토마스크, 코팅 및 현상 장비 등 매칭 반도체 재료는 높은 기술 콘텐츠를 보유하고 있습니다. 리소그래피 가스는 리소그래피 기계가 심자외선 레이저를 생성하는 가스입니다. 다양한 노광 가스는 다양한 파장의 광원을 생성할 수 있으며, 그 파장은 노광 기계의 핵심 중 하나인 노광 기계의 해상도에 직접적인 영향을 미칩니다. 2020년 전 세계 리소그래피 기계 판매량은 413대가 될 것이며, 그 중 ASML 판매량 258대가 62%, Canon 판매량 122대가 30%, Nikon 판매량 33대가 8%를 차지할 것입니다.