레이저 가스

레이저 가스는 전자 산업에서 주로 레이저 어닐링 및 리소그래피 가스로 사용됩니다. 휴대폰 화면의 혁신과 응용 분야의 확장에 힘입어 저온 폴리실리콘 시장 규모는 더욱 확대될 것이며, 레이저 어닐링 공정은 TFT(태그 비디오 트랜지스터)의 성능을 크게 향상시켰습니다. 반도체 제조용 ArF 엑시머 레이저에 사용되는 네온, 불소, 아르곤 가스 중 네온이 레이저 가스 혼합물의 96% 이상을 차지합니다. 반도체 기술의 발전과 함께 엑시머 레이저의 사용이 증가했으며, 이중 노광 기술의 도입으로 ArF 엑시머 레이저에 소모되는 네온 가스 수요가 급증했습니다. 전자 특수 가스의 국산화가 추진됨에 따라 국내 제조업체들은 향후 더욱 밝은 시장 성장 기회를 확보할 수 있을 것입니다.

리소그래피 장비는 반도체 제조의 핵심 장비입니다. 리소그래피는 트랜지스터의 크기를 결정합니다. 리소그래피 산업 사슬의 조화로운 발전은 리소그래피 장비의 혁신을 위한 열쇠입니다. 포토레지스트, 포토리소그래피 가스, 포토마스크, 코팅 및 현상 장비와 같은 반도체 재료 관련 제품들은 높은 기술력을 요구합니다. 리소그래피 가스는 리소그래피 장비에서 심자외선 레이저를 발생시키는 데 사용되는 가스입니다. 리소그래피 가스의 종류에 따라 생성되는 광원의 파장이 달라지며, 이 파장은 리소그래피 장비의 해상도에 직접적인 영향을 미치므로 리소그래피 장비의 핵심 요소 중 하나입니다. 2020년 전 세계 리소그래피 장비 판매량은 총 413대였으며, 이 중 ASML이 258대(62%), 캐논이 122대(30%), 니콘이 33대(8%)를 차지했습니다.