전자 특수 가스의 국내 대체 계획은 만능으로 가속화되었습니다!

2018 년에 통합 회로의 글로벌 전자 가스 시장은 전년 대비 16%증가한 4512 억 달러에 달했습니다. 반도체와 대량 시장 규모를위한 전자 특수 가스 산업의 높은 성장률은 전자 특수 가스의 국내 대체 계획을 가속화했습니다!

전자 가스는 무엇입니까?

전자 가스는 반도체, 평면 패널 디스플레이, 광 방출 다이오드, 태양 전지 및 기타 전자 제품의 생산에 사용되는 기본 소스 재료를 말하며, 청소, 에칭, 필름 형성, 도핑 및 기타 공정에 널리 사용됩니다. 전자 가스의 주요 응용 분야에는 전자 산업, 태양 전지, 이동 통신, 자동차 탐색 및 자동차 오디오 및 비디오 시스템, 항공 우주, 군사 산업 및 기타 여러 분야가 포함됩니다.

전자 특수 가스는 자체 화학적 조성에 따라 실리콘, 비소, 인, 붕소, 금속 수 소화물, 할라이드 및 금속 알 옥사이드에 따라 7 가지 범주로 나눌 수 있습니다. 통합 회로의 다른 적용 방법에 따르면, 도핑 가스, 에피 택시 가스, 이온 이식 가스, 광 방출 다이오드 가스, 에칭 가스, 화학 증기 가스 및 균형 가스로 나눌 수 있습니다. 반도체 산업에 사용되는 110 개 이상의 단위 특수 가스가 있으며, 그 중 30 개 이상이 일반적으로 사용됩니다.

 

일반적으로 반도체 생산 산업은 가스를 일반적인 가스와 특수 가스의 두 가지 유형으로 나눕니다. 그중에서도 일반적으로 사용되는 가스는 중앙 공급을 의미하며 N2, H2, O2, AR, HE 등과 같은 많은 가스를 사용합니다. 특수 가스는 확장, 이온 주입, 블렌딩, 세척 및 마스크 형성과 같은 반도체 생산 공정에 사용되는 일부 화학적 가스를 말합니다. NH3, SF6, NF3, CF4, BCL3, BF3, HCL, CL2 등

반도체 산업의 전체 생산 공정에서 칩 성장에서 최종 장치 포장에 이르기까지 거의 모든 링크가 전자 특수 가스와 분리 할 수 ​​없으며 사용 된 다양한 가스 및 고품질 요구 사항은 반도체 재료를 갖습니다. "음식".

최근 몇 년 동안 반도체 및 디스플레이 패널과 같은 중국의 주요 전자 부품은 새로운 생산 능력이 증가했으며 전자 화학 물질의 수입 대체에 대한 수요가 강해졌습니다. 반도체 산업에서 전자 가스의 위치는 점점 더 두드러지고있다. 국내 전자 가스 산업은 급속한 성장을 이끌 것입니다.

전자 특수 가스는 순도가 요구 사항에 달려 있지 않으면 전자 특수 가스의 수증기 및 산소와 같은 불순물 그룹이 반도체 표면에 산화물 필름을 쉽게 형성하여 전자 장치의 서비스 수명에 영향을 미치며, 전자 전제의 입자가 반도체 단락 및 회로 손상을 일으킬 수 있기 때문에 순도가 요구됩니다. 순도의 개선은 전자 장치 생산의 수율과 성능에 중요한 역할을한다고 말할 수 있습니다.

반도체 산업의 지속적인 개발로 인해 칩 제조 공정은 계속 개선되고 있으며 이제 5Nm에 도달했으며, 이는 무어 법칙의 한계에 접근하려고합니다. 따라서, 이것은 또한 반도체에 의해 생성 된 전자 특수 가스의 순도에 대한 더 높은 요구 사항을 제시한다.


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