2018년 집적 회로용 전 세계 전자 가스 시장은 전년 대비 16% 증가한 45억 1,200만 달러에 달했습니다. 반도체용 전자특수가스 산업의 높은 성장률과 거대한 시장규모로 인해 국내 전자특수가스 대체계획이 가속화되고 있습니다!
전자 가스란 무엇입니까?
전자 가스는 반도체, 평판 디스플레이, 발광 다이오드, 태양 전지 및 기타 전자 제품 생산에 사용되는 기본 원료를 말하며 세정, 에칭, 성막, 도핑 및 기타 공정에 널리 사용됩니다. 전자 가스의 주요 응용 분야에는 전자 산업, 태양 전지, 이동 통신, 자동차 내비게이션 및 자동차 오디오 및 비디오 시스템, 항공 우주, 군사 산업 및 기타 여러 분야가 포함됩니다.
전자특수가스는 그 자체의 화학적 조성에 따라 규소, 비소, 인, 붕소, 금속수소화물, 할로겐화물, 금속알콕시드 등 7가지 종류로 나눌 수 있습니다. 집적 회로의 다양한 적용 방법에 따라 도핑 가스, 에피택시 가스, 이온 주입 가스, 발광 다이오드 가스, 에칭 가스, 화학 기상 증착 가스 및 밸런스 가스로 나눌 수 있습니다. 반도체산업에서 사용되는 단위특수가스의 종류는 110종 이상이고, 그 중 일반적으로 사용되는 것은 30종 이상이다.
일반적으로 반도체 생산 산업에서는 가스를 일반 가스와 특수 가스의 두 가지 유형으로 나눕니다. 그 중 일반적으로 사용되는 가스는 중앙공급식 가스를 말하며 N2, H2, O2, Ar, He 등의 가스를 많이 사용합니다. 특수가스란 반도체 생산 공정에서 사용되는 일부 화학가스를 말합니다. 고순도 SiH4, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCl3, BF3, HCl, Cl2 등
칩 성장부터 최종 장치 패키징까지 반도체 산업의 전체 생산 과정에서 거의 모든 링크는 전자 특수 가스와 분리될 수 없으며 사용되는 가스의 다양성과 고품질 요구 사항이 있으므로 전자 가스에는 반도체 재료가 있습니다. "음식".
최근 몇 년간 중국의 반도체, 디스플레이 패널 등 주요 전자부품의 신규 생산능력이 증가하면서 전자화학재료의 수입대체 수요가 거세지고 있다. 반도체 산업에서 전자 가스의 위치는 점점 더 두드러지고 있습니다. 국내 전자가스산업은 급속한 성장을 이룰 것이다.
전자 특수 가스는 순도에 대한 요구 사항이 매우 높습니다. 순도가 요구 사항에 미치지 못하면 전자 특수 가스에 포함된 수증기, 산소 등의 불순물 그룹이 반도체 표면에 쉽게 산화막을 형성하여 반도체 성능에 영향을 미치기 때문입니다. 전자장치의 수명을 연장시키며, 전자특수가스에는 불순물 입자가 포함되어 있어 반도체 단락 및 회로 손상을 일으킬 수 있습니다. 순도 향상은 전자기기 생산의 수율과 성능에 중요한 역할을 한다고 할 수 있습니다.
반도체 산업의 지속적인 발전과 함께 칩 제조 공정도 계속해서 발전해 현재는 5nm에 도달해 무어의 법칙(사람 머리카락 굵기의 20분의 1에 해당)의 한계에 가까워지고 있습니다. 약 0.1mm). 따라서 이는 또한 반도체에서 생산되는 전자 특수 가스의 순도에 대한 더 높은 요구 사항을 제시합니다.
게시 시간: 2021년 12월 15일
