2018년 전 세계 집적 회로용 전자 가스 시장은 전년 대비 16% 증가한 45억 1,200만 달러에 달했습니다.반도체용 전자특수가스 산업의 높은 성장률과 거대한 시장규모로 전자특수가스의 국내 대체계획이 가속화되고 있습니다!
전자 가스 란 무엇입니까?
전자 가스는 반도체, 평판 디스플레이, 발광 다이오드, 태양 전지 및 기타 전자 제품 생산에 사용되는 기본 원료 물질을 말하며 세정, 식각, 성막, 도핑 및 기타 공정에 널리 사용됩니다.전자 가스의 주요 응용 분야에는 전자 산업, 태양 전지, 이동 통신, 자동차 내비게이션 및 자동차 오디오 및 비디오 시스템, 항공 우주, 군사 산업 및 기타 여러 분야가 포함됩니다.
전자 특수 가스는 자체 화학 성분에 따라 규소, 비소, 인, 붕소, 금속 수소화물, 할로겐화물 및 금속 알콕사이드의 7가지 범주로 나눌 수 있습니다.집적 회로의 다른 적용 방법에 따라 도핑 가스, 에피택시 가스, 이온 주입 가스, 발광 다이오드 가스, 에칭 가스, 화학 기상 증착 가스 및 밸런스 가스로 나눌 수 있습니다.반도체 산업에서 사용되는 단위 특수 가스는 110개 이상이며 그 중 30개 이상이 일반적으로 사용됩니다.
일반적으로 반도체 생산 산업에서는 가스를 일반 가스와 특수 가스의 두 가지 유형으로 나눕니다.그 중 일반적으로 사용되는 가스는 중앙 집중식 공급을 말하며 N2, H2, O2, Ar, He 등의 가스를 많이 사용합니다. 특수 가스는 다음과 같이 반도체 생산 공정에서 사용되는 일부 화학 가스를 말합니다. 고순도 SiH4, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCl3, BF3, HCl, Cl2 등
반도체 산업의 전체 생산 공정에서 칩 성장에서 최종 장치 패키징에 이르기까지 거의 모든 링크는 전자 특수 가스와 분리할 수 없으며 사용되는 가스의 다양성과 고품질 요구 사항으로 인해 전자 가스에는 반도체 재료가 있습니다."음식".
최근 중국의 반도체, 디스플레이 패널 등 주요 전자부품의 신규 생산능력이 증가하면서 전자화학재료의 수입대체 수요가 강해지고 있다.반도체 산업에서 전자 가스의 위치는 점점 더 중요해지고 있습니다.국내 전자가스 산업은 비약적인 성장을 예고할 것입니다.
전자 특수 가스는 순도에 대한 요구 사항이 매우 높습니다. 순도가 요구 사항에 미치지 못하면 전자 특수 가스의 수증기 및 산소와 같은 불순물 그룹이 반도체 표면에 쉽게 산화막을 형성하여 성능에 영향을 미치기 때문입니다. 전자 장치의 서비스 수명 및 전자 특수 가스에는 불순물 입자가 포함되어 있어 반도체 단락 및 회로 손상을 일으킬 수 있습니다.순도의 향상은 전자기기 생산의 수율과 성능에 중요한 역할을 한다고 할 수 있습니다.
반도체 산업의 지속적인 발전으로 칩 제조 공정은 계속해서 개선되어 현재는 5nm에 도달하여 사람 머리카락 굵기의 20분의 1에 해당하는 무어의 법칙의 한계에 근접하고 있습니다. 약 0.1mm).따라서 이것은 또한 반도체에서 생산되는 전자 특수 가스의 순도에 대한 더 높은 요구 사항을 제시합니다.
게시 시간: 2021년 12월 15일
