WF6(육불화텅스텐)은 CVD 공정을 통해 웨이퍼 표면에 증착되어 금속 배선 트렌치를 채우고 층간 금속 배선을 형성합니다.
먼저 플라즈마에 대해 이야기해 봅시다. 플라즈마는 주로 자유 전자와 하전 이온으로 구성된 물질의 한 형태입니다. 그것은 우주에 널리 존재하며 종종 물질의 네 번째 상태로 간주됩니다. 이를 플라즈마 상태라고 하며, '플라즈마'라고도 합니다. 플라즈마는 전기 전도도가 높고 전자기장과 강한 결합 효과를 가지고 있습니다. 이는 전자, 이온, 자유 라디칼, 중성 입자 및 광자로 구성된 부분적으로 이온화된 가스입니다. 플라즈마 자체는 물리적, 화학적 활성 입자를 포함하는 전기적으로 중성인 혼합물입니다.
간단한 설명은 높은 에너지의 작용 하에서 분자가 반 데르 발스 힘, 화학 결합력 및 쿨롱 힘을 극복하고 전체적으로 중성 전기의 형태를 제시한다는 것입니다. 동시에 외부에서 전달되는 높은 에너지는 위의 세 가지 힘을 극복합니다. 기능, 전자 및 이온은 자유 상태를 나타내며 반도체 식각 공정, CVD 공정, PVD 및 IMP 공정과 같은 자기장의 변조 하에서 인위적으로 사용될 수 있습니다.
고에너지란 무엇인가? 이론적으로는 고온 및 고주파 RF를 모두 사용할 수 있습니다. 일반적으로 고온은 달성하기가 거의 불가능합니다. 이 온도 요구 사항은 너무 높으며 태양 온도에 가까울 수 있습니다. 그 과정에서 기본적으로 달성하는 것은 불가능합니다. 따라서 업계에서는 이를 달성하기 위해 일반적으로 고주파 RF를 사용합니다. 플라즈마 RF는 최대 13MHz+까지 도달할 수 있습니다.
육불화텅스텐은 전기장의 작용으로 플라즈마화되고, 그 다음 자기장에 의해 증기 증착됩니다. W 원자는 겨울 거위 깃털과 유사하며 중력의 작용으로 땅에 떨어집니다. 천천히 W 원자가 관통 구멍에 증착되고 최종적으로 관통 구멍이 가득 채워져 금속 상호 연결이 형성됩니다. 스루홀에 W 원자를 증착하는 것 외에도 웨이퍼 표면에도 증착됩니까? 네, 물론이죠. 일반적으로 말하면 W-CMP 공정을 사용하여 제거할 수 있습니다. 이를 기계적 연삭 공정이라고 합니다. 폭설이 내린 뒤 바닥을 쓸 때 빗자루를 사용하는 것과 비슷하다. 땅에 쌓인 눈은 쓸려가지만 땅에 뚫린 눈은 그대로 남을 것입니다. 아래는 거의 같습니다.
게시 시간: 2021년 12월 24일
