육불화텅스텐(WF6) 사용

텅스텐 육불화물(WF6)은 CVD 공정을 통해 웨이퍼 표면에 증착되어 금속 배선 트렌치를 채우고 층 사이에 금속 배선을 형성합니다.

먼저 플라즈마에 대해 이야기합시다.플라즈마는 주로 자유 전자와 하전 이온으로 구성된 물질의 한 형태입니다.그것은 우주에 널리 존재하며 종종 물질의 네 번째 상태로 간주됩니다.플라즈마 상태라고 하며 "플라즈마"라고도 합니다.플라즈마는 전기 전도성이 높고 전자기장과 강한 결합 효과가 있습니다.전자, 이온, 자유 라디칼, 중성 입자 및 광자로 구성된 부분적으로 이온화된 기체입니다.플라즈마 자체는 물리적 및 화학적 활성 입자를 포함하는 전기적으로 중성인 혼합물입니다.

간단한 설명은 고에너지의 작용 하에서 분자가 반 데르 발스 힘, 화학 결합력 및 쿨롱 힘을 극복하고 전체적으로 중성 전기의 형태를 나타낼 것이라는 것입니다.동시에 외부에서 전달되는 높은 에너지는 위의 세 가지 힘을 극복합니다.기능, 전자 및 이온은 자유 상태를 나타내며 반도체 에칭 공정, CVD 공정, PVD 및 IMP 공정과 같은 자기장의 변조 하에서 인위적으로 사용될 수 있습니다.

고에너지란?이론적으로 고온 및 고주파 RF를 모두 사용할 수 있습니다.일반적으로 높은 온도를 달성하는 것은 거의 불가능합니다.이 온도 요구 사항은 너무 높으며 태양의 온도와 비슷할 수 있습니다.그 과정에서 달성하는 것은 기본적으로 불가능합니다.따라서 업계에서는 일반적으로 고주파 RF를 사용하여 이를 달성합니다.플라즈마 RF는 13MHz+까지 도달할 수 있습니다.

육불화텅스텐은 전기장의 작용하에 플라즈마화되고 자기장에 의해 증착된다.W 원자는 겨울 거위 깃털과 유사하며 중력의 작용으로 땅으로 떨어집니다.천천히 W 원자가 관통 구멍에 증착되고 마지막으로 전체 관통 구멍을 채워 금속 상호 연결을 형성합니다.쓰루홀에 W 원자를 증착하는 것 외에도 웨이퍼 표면에도 증착됩니까?네, 물론입니다.일반적으로 W-CMP 공정을 사용할 수 있습니다. 이를 기계적 연마 공정이라고 하여 제거할 수 있습니다.폭설이 내린 후 바닥을 쓸 때 빗자루를 사용하는 것과 비슷합니다.땅에 쌓인 눈은 쓸려갔지만 땅에 쌓인 눈은 그대로 남아 있을 것이다.아래로, 거의 동일합니다.


게시 시간: 2021년 12월 24일

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