무엇인가요탄소 테트라 플루오 라이드? 사용은 무엇입니까?
탄소 테트라 플루오 라이드, 테트라 플루오로 메탄으로도 알려진 것은 무기 화합물로 간주된다. 다양한 통합 회로의 플라즈마 에칭 공정에 사용되며 레이저 가스 및 냉매로도 사용됩니다. 정상 온도 및 압력 하에서 비교적 안정적이지만 강한 산화제, 가연성 또는 가연성 물질과의 접촉을 피해야합니다. 탄소 테트라 플루오 라이드는 비 전복 가스입니다. 열이 높은 경우 컨테이너의 내부 압력이 증가하고 균열과 폭발의 위험이 있습니다. 일반적으로 그것은 실온에서 액체 암모니아-소체 금속 시약과 만 상호 작용할 수 있습니다.
탄소 테트라 플루오 라이드현재 미세 전자 산업에서 사용되는 최대의 혈장 에칭 가스입니다. 실리콘, 이산화 실리콘, 인산화 유리 및 기타 박막 재료의 에칭에 널리 사용될 수 있으며, 전자 장치의 표면을 청소, 태양 전지 생산, 레이저 기술, 가스상 절연, 저온 삭제, 누출 감지제 및 세제는 다수의 적용을 가지고 있습니다.
후 시간 : Nov-01-2021
