무엇인가요사불화탄소? 무슨 소용이 있나요?
사불화탄소테트라플루오로메탄으로도 알려진 사플루오르화탄소는 무기 화합물로 간주됩니다. 다양한 집적 회로의 플라즈마 에칭 공정에 사용되며, 레이저 가스 및 냉매로도 사용됩니다. 상온 상압에서는 비교적 안정하지만, 강산화제, 가연성 또는 인화성 물질과의 접촉을 피해야 합니다. 사플루오르화탄소는 불연성 기체입니다. 고열에 노출되면 용기 내부 압력이 상승하여 균열 및 폭발 위험이 있습니다. 일반적으로 실온에서 액체 암모니아-나트륨 금속 시약과만 상호 작용합니다.
사불화탄소현재 마이크로전자 산업에서 가장 많이 사용되는 플라즈마 에칭 가스입니다. 실리콘, 이산화규소, 인규산염 유리 및 기타 박막 재료의 에칭, 전자 소자 표면 세정, 태양 전지 생산, 레이저 기술, 기체상 절연, 저온 냉동, 누출 감지제, 인쇄 회로 생산용 세정제 등 다양한 용도로 활용될 수 있습니다.
게시 시간: 2021년 11월 1일
