무엇인가요사불화탄소? 용도는 무엇입니까?
사불화탄소테트라플루오로메탄이라고도 알려진 는 무기 화합물로 간주됩니다. 각종 집적회로의 플라즈마 에칭 공정에 사용되며, 레이저 가스 및 냉매로도 사용됩니다. 상온 및 상압에서는 비교적 안정하지만, 강한 산화제, 인화성 또는 가연성 물질과의 접촉을 피할 필요가 있습니다. 사불화탄소는 불연성 가스입니다. 높은 열에 노출되면 용기 내부의 압력이 상승하여 균열 및 폭발의 위험이 있습니다. 일반적으로 실온에서만 액체 암모니아-나트륨 금속 시약과 상호작용할 수 있습니다.
사불화탄소현재 마이크로 전자 산업에서 사용되는 가장 큰 플라즈마 에칭 가스입니다. 실리콘, 이산화규소, 인규산염 유리 및 기타 박막 재료의 에칭, 전자 장치 표면 청소, 태양 전지 생산, 레이저 기술, 기상 절연, 저온 냉동, 누출 감지제, 인쇄 회로 생산의 세제에는 다양한 용도가 있습니다.
게시 시간: 2021년 11월 1일
