무엇인가요사불화탄소?용도는 무엇입니까?
사불화탄소테트라플루오로메탄으로도 알려져 있는 은 무기 화합물로 간주됩니다.각종 집적회로의 플라즈마 식각 공정에 사용되며, 레이저 가스 및 냉매로도 사용됩니다.상온 상압에서는 비교적 안정하나 강한 산화제, 가연성 또는 가연성 물질과의 접촉을 피할 필요가 있습니다.사불화탄소는 불연성 가스입니다.고열에 노출되면 용기 내부 압력이 상승하여 균열 및 폭발의 위험이 있습니다.일반적으로 실온에서 액체 암모니아-나트륨 금속 시약과만 상호 작용할 수 있습니다.
사불화탄소현재 마이크로 전자 산업에서 사용되는 가장 큰 플라즈마 에칭 가스입니다.실리콘, 이산화 규소, 인규산 유리 및 기타 박막 재료의 에칭, 전자 장치의 표면 세척, 태양 전지 생산, 레이저 기술, 기상 절연, 저온 냉동, 누출 감지제, 인쇄 회로 생산의 세제는 많은 응용 분야를 가지고 있습니다.
게시 시간: 2021년 11월 1일
