실란실란은 규소와 수소의 화합물로, 여러 화합물을 총칭하는 용어입니다. 실란은 주로 모노실란(SiH4), 디실란(Si2H6) 및 화학식 SinH2n+2를 갖는 고차 규소수소 화합물을 포함합니다. 그러나 실제 생산 과정에서는 일반적으로 모노실란(화학식 SiH4)을 "실란"이라고 부릅니다.

전자 등급실란 가스실란은 주로 규소 분말, 수소, 사염화규소, 촉매 등을 다양한 반응 증류 및 정제 과정을 통해 얻어집니다. 순도가 3N~4N인 실란은 산업용 실란이라고 하며, 순도가 6N 이상인 실란은 전자용 실란가스라고 합니다.

실리콘 부품을 운반하는 가스 공급원으로서,실란 가스모노실란은 높은 순도와 정밀한 제어 능력 덕분에 다른 많은 실리콘 공급원으로 대체할 수 없는 중요한 특수 가스가 되었습니다. 모노실란은 열분해 반응을 통해 결정질 실리콘을 생성하는데, 이는 현재 전 세계적으로 과립형 단결정 실리콘 및 다결정 실리콘을 대규모로 생산하는 방법 중 하나입니다.

실란의 특성

실란(SiH4)실란은 공기와 반응하여 질식을 일으키는 무색 기체입니다. 동의어는 수소화규소(SiH4)입니다. 실란의 화학식은 SiH4이며, 순도는 99.99%에 달합니다. 상온 및 상압에서 실란은 악취가 나는 유독 가스입니다. 실란의 녹는점은 -185℃이고 끓는점은 -112℃입니다. 실란은 상온에서 안정하지만, 400℃까지 가열하면 기체 상태의 규소와 수소로 완전히 분해됩니다. 실란은 가연성 및 폭발성이 있으며, 공기 또는 할로겐 가스와 함께 연소할 경우 폭발적으로 연소합니다.

지원 분야

실란은 활용 범위가 매우 넓습니다. 태양 전지 생산 과정에서 실리콘 분자를 전지 표면에 부착하는 가장 효과적인 방법일 뿐만 아니라, 반도체, 평면 디스플레이, 코팅 유리 등 다양한 제조 공정에서도 널리 사용됩니다.

실란실리콘은 반도체 산업에서 단결정 실리콘, 다결정 실리콘 에피택셜 웨이퍼, 이산화규소, 질화규소, 인산규산염 유리와 같은 화학 기상 증착 공정의 실리콘 원료이며, 태양 전지, 실리콘 복사기 드럼, 광전 센서, 광섬유 및 특수 유리의 생산 및 개발에 널리 사용됩니다.

최근 몇 년 동안 실란의 첨단 기술 응용 분야가 계속해서 새롭게 등장하고 있으며, 여기에는 고급 세라믹, 복합 재료, 기능성 재료, 생체 재료, 고에너지 재료 등의 제조가 포함되어 많은 새로운 기술, 새로운 재료 및 새로운 장치의 기반이 되고 있습니다.