실란규소와 수소의 화합물로 일련의 화합물을 총칭하는 용어이다. 실란은 주로 모노실란(SiH4), 디실란(Si2H6) 및 일반식 SinH2n+2를 갖는 일부 고급 실리콘 수소 화합물을 포함합니다. 그러나 실제 생산에서는 일반적으로 모노실란(화학식 SiH4)을 '실란'이라고 부릅니다.

전자급실란 가스주로 규소 분말, 수소, 사염화규소, 촉매 등을 다양한 반응 증류 및 정제하여 얻습니다. 순도가 3N~4N인 실란을 공업용 실란이라 하고, 순도가 6N 이상인 실란을 전자-등급 실란이라고 합니다. 등급 실란 가스.

실리콘 부품을 운반하기 위한 가스 소스로서,실란 가스높은 순도와 미세한 제어 능력으로 인해 다른 많은 실리콘 소스로 대체할 수 없는 중요한 특수 가스가 되었습니다. 모노실란은 열분해 반응을 통해 결정질 실리콘을 생성하는데, 이는 현재 전 세계적으로 입상 단결정 실리콘과 다결정 실리콘을 대량 생산하는 방법 중 하나입니다.

실란 특성

실란(SiH4)공기와 반응하여 질식을 일으키는 무색의 가스입니다. 그 동의어는 실리콘 수소화물입니다. 실란의 화학식은 SiH4이며 함량은 99.99%에 달합니다. 실온과 압력에서 실란은 악취가 나는 독성 가스입니다. 실란의 녹는점은 -185℃이고 끓는점은 -112℃입니다. 실란은 실온에서 안정하지만 400℃로 가열하면 완전히 분해되어 기체 실리콘과 수소로 변합니다. 실란은 가연성 및 폭발성이 있으며 공기 또는 할로겐 가스에서 폭발적으로 연소됩니다.

응용분야

실란은 용도가 다양합니다. 태양전지 제조 시 실리콘 분자를 전지 표면에 부착시키는 가장 효과적인 방법일 뿐만 아니라, 반도체, 평판 디스플레이, 코팅유리 등 제조공장에서도 널리 사용되고 있다.

실란반도체 산업의 단결정 실리콘, 다결정 실리콘 에피택셜 웨이퍼, 이산화규소, 질화규소, 인규산염 유리 등 화학기상증착 공정의 실리콘 소스로 태양전지, 실리콘 복사기 드럼 등의 생산 및 개발에 널리 사용됩니다. , 광전 센서, 광섬유 및 특수 유리.

최근에는 첨단 세라믹, 복합재료, 기능성 재료, 생체 재료, 고에너지 재료 등의 제조를 포함하여 실란의 첨단 기술 응용 분야가 계속해서 등장하고 있으며 많은 신기술, 신소재 및 신소재의 기초가 되고 있습니다. 장치.