실란는 규소와 수소의 화합물이며, 일련의 화합물을 통칭하는 용어입니다. 실란은 주로 모노실란(SiH₄), 디실란(Si₂H₄), 그리고 일반 화학식이 SinH₂n+₂인 일부 고차 규소 수소 화합물을 포함합니다. 그러나 실제 생산에서는 일반적으로 모노실란(화학식은 SiH₄)을 "실란"이라고 부릅니다.

전자 등급실란 가스주로 실리콘 분말, 수소, 사염화규소, 촉매 등의 다양한 반응 증류 및 정제를 통해 얻습니다. 순도 3N~4N의 실란을 공업용 실란이라고 하며, 순도 6N 이상의 실란을 전자용 실란가스라고 합니다.

실리콘 성분을 운반하기 위한 가스원으로,실란 가스높은 순도와 미세 제어 능력으로 인해 다른 많은 실리콘 원료로 대체될 수 없는 중요한 특수 가스가 되었습니다. 모노실란은 열분해 반응을 통해 결정질 실리콘을 생성하는데, 이는 현재 전 세계적으로 입상 단결정 실리콘 및 다결정 실리콘의 대량 생산 방법 중 하나입니다.

실란 특성

실란(SiH4)무색의 기체로 공기와 반응하여 질식을 유발합니다. 동의어로는 실리콘 하이드라이드가 있습니다. 실란의 화학식은 SiH₄이며, 그 함량은 최대 99.99%입니다. 실온 및 상압에서 실란은 악취가 나는 유독 기체입니다. 실란의 녹는점은 -185℃, 끓는점은 -112℃입니다. 실란은 실온에서 안정하지만, 400℃로 가열하면 기체 상태의 실리콘과 수소로 완전히 분해됩니다. 실란은 가연성 및 폭발성이 있으며, 공기 또는 할로겐 가스에서 폭발적으로 연소합니다.

응용 분야

실란은 다양한 용도로 사용됩니다. 태양 전지 생산 과정에서 실리콘 분자를 전지 표면에 부착하는 가장 효과적인 방법일 뿐만 아니라, 반도체, 평판 디스플레이, 코팅 유리 등의 제조 공장에서도 널리 사용됩니다.

실란반도체 산업에서 단결정 실리콘, 다결정 실리콘 에피택셜 웨이퍼, 이산화규소, 질화규소, 인산규산염 유리 등의 화학 기상 증착 공정을 위한 실리콘 공급원이며, 태양 전지, 실리콘 복사기 드럼, 광전 센서, 광섬유, 특수 유리 등의 생산 및 개발에 널리 사용되고 있습니다.

최근 몇 년 동안, 실란의 첨단 응용 분야가 계속 등장하고 있으며, 여기에는 고급 세라믹, 복합 소재, 기능성 소재, 생체 소재, 고에너지 소재 등이 포함되며, 이는 많은 신기술, 신소재, 신소자의 기반이 되고 있습니다.