실란(SiH4)

기술적인 매개변수

실란은 실리콘과 수소의 화합물입니다.모노실란(SiH4), 디실란(Si2H6) 및 일부 고급 규소-수소 화합물을 포함한 일련의 화합물에 대한 일반적인 용어입니다.그중 모노실란이 가장 일반적이며 줄여서 실란이라고도 합니다.실란은 역겨운 마늘 냄새가 나는 무색의 가스입니다.물에 녹고 에탄올, 에테르, 벤젠, 클로로포름, 클로로포름규소, 사염화규소에는 거의 녹지 않는다.실란의 화학적 특성은 알칸보다 훨씬 더 활동적이며 쉽게 산화됩니다.자연 연소는 공기와 접촉할 때 발생할 수 있습니다.25°C 이하에서는 질소와 반응하지 않으며 상온에서는 탄화수소 화합물과도 반응하지 않습니다.실란의 화재 및 폭발은 산소와의 반응의 결과입니다.실란은 산소와 공기에 매우 민감합니다.특정 농도의 실란도 -180°C의 온도에서 산소와 폭발적으로 반응합니다.실란은 반도체 마이크로 전자 공정에 사용되는 가장 중요한 특수 가스가 되었으며 단결정 필름, 미세 결정, 다결정, 산화 규소, 질화 규소 및 금속 규화물을 비롯한 다양한 미세 전자 필름의 제조에 사용됩니다.실란의 미세 전자 응용은 저온 에피택시, 선택적 에피택시 및 헤테로에피택시 에피택시와 같이 여전히 심도 있게 발전하고 있습니다.실리콘 소자, 실리콘 집적회로 뿐만 아니라 화합물 반도체 소자(비화갈륨, 탄화규소 등)에도 사용됩니다.그것은 또한 초격자 양자우물 재료의 제조에 응용된다.실란은 현대의 거의 모든 고급 집적 회로 생산 라인에서 사용된다고 말할 수 있습니다.실리콘 함유 필름 및 코팅으로서 실란의 적용은 전통적인 마이크로 전자 산업에서 철강, 기계, 화학 및 광학과 같은 다양한 분야로 확장되었습니다.실란의 또 다른 잠재적 응용 분야는 고성능 세라믹 엔진 부품의 제조이며, 특히 실란을 사용하여 실리사이드(Si3N4, SiC 등) 미세 분말 제조 기술이 점점 더 많은 관심을 받고 있습니다.

애플리케이션:

①전자:

실란은 반도체 제조시 실리콘 웨이퍼 위의 다결정 실리콘 층에 적용되며 실란트입니다.

②태양광:

실란은 태양광 모듈 제조에 사용됩니다.

③산업:

에너지 절약형 Green Glass에 사용되며 증착 박막 공정에 적용됩니다.

일반 패키지:

이점:

①시장에서 10년 이상;

②ISO 인증서 제조업체;

③빠른 배송;

④안정적인 원료 공급원;

⑤모든 단계의 품질 관리를 위한 온라인 분석 시스템;

⑥충진 전 실린더 취급에 대한 높은 요구 사항 및 세심한 프로세스;

⑦순도: 고순도 전자 등급;

⑧용도: 태양 전지 재료;고순도 폴리실리콘, 실리콘 산화물 및 광섬유 제조;컬러 유리 제조.