실란(SiH4)

기술적 매개변수

실란은 규소와 수소의 화합물입니다. 모노실란(SiH4), 디실란(Si2H6) 및 일부 고농도 규소-수소 화합물을 포함한 여러 화합물을 통칭하는 용어입니다. 이 중 모노실란이 가장 일반적이며, 줄여서 실란이라고도 합니다. 실란은 마늘 냄새가 나는 무색의 기체입니다. 물에는 녹지만 에탄올, 에테르, 벤젠, 클로로포름, 규소클로로포름, 사염화규소에는 거의 녹지 않습니다. 실란은 알칸보다 화학적 활성이 훨씬 강하고 쉽게 산화됩니다. 공기와 접촉하면 자연 발화가 일어날 수 있습니다. 25°C 이하에서는 질소와 반응하지 않으며, 실온에서는 탄화수소 화합물과 반응하지 않습니다. 실란의 화재 및 폭발은 산소와의 반응으로 인해 발생합니다. 실란은 산소와 공기에 매우 민감합니다. 특정 농도의 실란은 -180°C의 온도에서도 산소와 폭발적으로 반응합니다. 실란은 반도체 마이크로전자 공정에서 사용되는 가장 중요한 특수 가스로 자리 잡았으며, 단결정, 미정질, 다결정, 산화규소, 질화규소, 금속 실리사이드 등 다양한 마이크로전자 필름 제조에 사용됩니다. 실란의 마이크로전자 응용 분야는 저온 에피택시, 선택적 에피택시, 헤테로에피택시 등 여전히 심층적으로 발전하고 있습니다. 실리콘 소자 및 실리콘 집적 회로뿐만 아니라 화합물 반도체 소자(갈륨비소, 실리콘 카바이드 등)에도 사용됩니다. 또한 초격자 양자우물 재료 제조에도 응용됩니다. 현대 거의 모든 첨단 집적 회로 생산 라인에서 실란이 사용되고 있다고 할 수 있습니다. 실리콘 함유 필름 및 코팅으로서의 실란의 응용 분야는 전통적인 마이크로전자 산업에서 철강, 기계, 화학, 광학 등 다양한 분야로 확장되었습니다. 실란의 또 다른 잠재적인 응용 분야는 고성능 세라믹 엔진 부품의 제조이며, 특히 실란을 사용하여 실리사이드(Si3N4, SiC 등)를 제조하는 미세분말 기술이 점점 더 많은 주목을 받고 있습니다.

애플리케이션:

① 전자 :

실란은 반도체 제조 시 실리콘 웨이퍼의 다결정 실리콘 층에 도포되며, 실란트에도 사용됩니다.

②태양광:

실란은 태양광 모듈 제조에 사용됩니다.

③산업용:

에너지 절약형 녹색 유리에 사용되며, 박막 증착 공정에 적용됩니다.

일반 패키지:

이점:

①시장에 출시된 지 10년 이상;

②ISO 인증 제조업체;

③빠른 배송;

④안정적인 원료 공급원;

⑤모든 단계의 품질관리를 위한 온라인 분석 시스템

⑥ 실린더 충전 전 취급에 대한 높은 요구 사항과 꼼꼼한 공정;

⑦순도 : 고순도 전자급;

8용도 : 태양전지 소재, 고순도 폴리실리콘, 산화규소, 광섬유 제조, 컬러유리 제조.