실란(SiH4)

기술적인 매개변수

실란은 실리콘과 수소의 화합물입니다. 이는 모노실란(SiH4), 디실란(Si2H6) 및 일부 고급 실리콘-수소 화합물을 포함한 일련의 화합물을 가리키는 일반적인 용어입니다. 그 중 모노실란이 가장 일반적이며 줄여서 실란이라고도 합니다. 실란은 역겨운 마늘 냄새가 나는 무색의 가스입니다. 물에 용해되며 에탄올, 에테르, 벤젠, 클로로포름, 클로로포름 규소 및 사염화 규소에 거의 용해되지 않습니다. 실란의 화학적 성질은 알칸보다 훨씬 더 활성적이며 쉽게 산화됩니다. 공기와 접촉하면 자연 연소가 발생할 수 있습니다. 25°C 이하에서는 질소와 반응하지 않으며, 실온에서는 탄화수소 화합물과도 반응하지 않습니다. 실란의 화재 및 폭발은 산소와의 반응으로 인해 발생합니다. 실란은 산소와 공기에 매우 민감합니다. 특정 농도의 실란은 -180°C 온도에서 산소와 폭발적으로 반응합니다. 실란은 반도체 마이크로전자 공정에 사용되는 가장 중요한 특수 가스가 되었으며, 단결정 필름, 미결정, 다결정, 산화규소, 질화규소, 금속 규화물 등 다양한 마이크로전자 필름 제조에 사용됩니다. 실란의 마이크로 전자 응용 분야는 저온 에피택시, 선택적 에피택시, 헤테로에피택시 에피택시 등 여전히 심도 있게 발전하고 있습니다. 실리콘 디바이스, 실리콘 집적회로 뿐만 아니라 화합물 반도체 디바이스(갈륨비소, 실리콘카바이드 등)에도 적용됩니다. 또한 초격자 양자우물 재료를 준비하는 데에도 응용됩니다. 실란은 현대의 거의 모든 첨단 집적회로 생산라인에 사용되고 있다고 할 수 있습니다. 실리콘 함유 필름 및 코팅제로서의 실란 적용은 전통적인 마이크로 전자 산업에서 철강, 기계, 화학, 광학 등 다양한 분야로 확대되었습니다. 실란의 또 다른 잠재적 응용 분야는 고성능 세라믹 엔진 부품 제조이며, 특히 실란을 사용하여 규화물(Si3N4, SiC 등)을 제조하는 미세 분말 기술이 점점 더 주목을 받고 있습니다.

애플리케이션:

①전자:

실란은 반도체, 실런트 제조 시 실리콘 웨이퍼 위의 다결정 실리콘 층에 적용됩니다.

②태양광:

실란은 태양광 모듈 제조에 사용됩니다.

③산업:

에너지 절약형 Green Glass에 사용되며, 증착박막 공정에 적용됩니다.

일반 패키지:

이점:

①시장에 출시된 지 10년이 넘었습니다.

②ISO 인증서 제조업체;

③빠른 배송;

④안정적인 원료 공급원;

⑤모든 단계의 품질 관리를 위한 온라인 분석 시스템;

6충진 전 실린더 취급에 대한 높은 요구 사항과 세심한 프로세스;

7순도: 고순도 전자 등급;

8용도: 태양전지 재료; 고순도 폴리실리콘, 산화규소, 광섬유 제조; 색유리 제조.